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“钼”成300层+NAND必选项机构：沉积设备迎10亿美元增量市场_我的网站

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A | 　　当地时间8月23日，半导体行业研究机构SemiAnalysis发文称，NAND闪存制造正从钨转向钼，因为当NAND来到300层以上，钼是必选项。　　SemiAnalysis分析，3D NAND闪存堆叠层数突破300层后，钨字线在电阻、化学兼容性和深孔填充三方面均触及物理极限，钼成为强制替代材料。

B | 三星已于2024年量产，美光2025年跟进，SK海力士计划2026年底推出375层钼工艺产品。 9월 5일부터 12월까지 시청 1층서 운영성인·어르신·어린이 맞춤형 체력 측정·상담추석 연휴엔 온 가족 참여 프로그램도 마련 지난 설 연휴에 서울시청에 마련된 ‘설맞이 팝업 서울체력장’ 모습. 사진제공=서울시9월부터 주말 서울시청을 찾으면 근력과 심폐지구력, 유연성 등 자신의 체력을 무료로 측정하고 전문가에게 맞춤형 운동 방법을 상담받을 수 있다. 체력측정을 마친 만 18세 이상 서울시민은 ‘손목닥터9988’ 1000포인트도 받는다.서울시는 9월 5일부터 12월 20일까지 시청 본관 1층 로비에서 ‘상시형 찾아가는 서울체력장’을 운영한다고 26일 밝혔다. 시민들이 가까운 곳에서 체력 상태를 확인하고 건강관리에 활용할 수 있도록 마련했다.서울체력장은 매월 첫째·셋째 주 토·일요일 오전 10시부터 오후 5시까지 운영한다. 9월 5~6일에는 성인과 어르신을 대상으로 하며 10~11월에는 어린이 대상 프로그램도 순차적으로 운영한다.성인은 근력과 근지구력, 심폐지구력, 유연성 등을 측정한다. 어르신은 균형과 보행, 하지 근기능 등을 살펴보는 노인신체기능평가(SPPB)를 받을 수 있다. 어린이는 근력과 민첩성, 순발력 등 기초체력을 확인한다. 건강 상태에 따라 가능한 종목만 측정할 수도 있다.측정이 끝나면 전문가가 결과를 토대로 현재 체력 수준과 개인별 운동 방법을 안내한다. 영양과 휴식 등 생활습관 상담도 제공하며 체력 평가확인서와 결과지도 발급한다.만 18세 이상 서울시민이 체력측정을 완료하면 손목닥터9988 특별 포인트 1000P를 받을 수 있다. 일부 종목만 측정해도 동일하게 지급된다. 손목닥터9988 앱에서 사전 예약하거나 운영 당일 시청에서 현장 접수하면 된다.추석 연휴에는 가족이 함께 참여하는 프로그램도 열린다. 서울시는 9월 25~27일 철봉 매달리기와 앉아윗몸앞으로굽히기, 낙하봉 반응속도, 밸런스 패드 등 체력측정·신체활동 프로그램을 운영한다. 올해 설 연휴 팝업 체력장에는 사흘간 2883명이 참여했다.더욱 정밀한 인증형 체력측정을 원하는 시민은 체력인증센터를 이용할 수 있다. 현재 광진·송파·용산·은평·서대문·서초구 등에서 20개 센터가 운영 중이며 관악·강남·동대문·종로·강서·성북·양천에도 하반기 센터가 추가로 문을 열 예정이다.조영창 서울시 시민건강국장은 “시청을 방문한 시민들이 부담 없이 체력을 측정하고 건강 상태를 확인할 수 있도록 이번 자리를 마련했다”며 “가족과 함께 참여해 건강을 점검하는 기회로 활용하시길 바란다”고 말했다. 이미지제공=서울시。其估计，钼在NAND总产能中的占比将从2025年的中个位数百分比，增长至2027年的约30%。　　更进一步的，该机构提出，钼沉积设备将在明年迎来超10亿美元的新增市场。　　该机构称，每一次从钨到钼的转换，都意味着需要新的沉积设备。SemiAnalysis估计，仅2027年一年，NAND钼沉积设备的销售额就将超过10亿美元，并随着DRAM和逻辑芯片的跟进，到2030年增长至约20亿美元/年。　　受益格局方面，Lam Research（泛林集团）最先获益，TEL（东京电子）紧随其后；AMAT（应用材料）、ASMI（ASM国际）及Naura（北方华创）则更多受益于后续DRAM和逻辑芯片的转型浪潮。SemiAnalysis表示，完整的细分市场层面测算已纳入其前道设备（WFE）模型。　　钼渗透率在高层数NAND中提升，本质是为延续NAND单位Bit成本下降曲线。　　300层NAND主要在结构上升级，聚焦超高深宽比通道孔刻蚀、多次Stack堆叠、晶圆翘曲控制以及Overlay精度控制。　　375层乃至400层以后，材料亟需升级，因钨字线会因为字线间距通道孔缩小面临RC延迟快速恶化、WF残氟导致介质损伤、漏电失效率提升以及填充缺陷放大的问题。而钼凭借更低电阻率、无氟前驱体及无需阻隔层等优势，有望改善RC性能与器件可靠性，为字线和存储孔缩放提供工艺余量，从而延续高层数NAND的成本下降曲线。　　中银证券表示，SK海力士已完成375层3D NAND生产验证并计划2026年底量产，拟采用钼材料替代钨制作字线，继三星在286层第九代3D NAND中率先导入钼工艺后，两大存储龙头相继切换，钼替代钨趋势确立。　　然而，钼的材料加工更为复杂，因为必须以气体形式输送，且前驱物在室温下为固体，需要加热器以确保流动稳定性。　　基于此，300层以上3D NAND字线由钨切换为钼，并不是简单更换靶材或者更换气体材料，而是前驱体供给、ALD沉积腔体、刻蚀、清洗、尾气处理整套工艺链条的重构，原有钨CVD产线硬件无法直接复用，将直接推动晶圆厂资本开支上行，同时设备、特种材料、零部件均迎来变化。

C | 　　爱建证券表示，钼导入本质是一次全流程工艺重构，设备链受益有望沿“沉积及前驱体输送→CMP及清洗→刻蚀→量检测”路径传导，工艺难点由沉积向后处理环节延伸。

D | 其中——　　沉积：成熟的WF钨工艺，Mo沉积需重新建立高深宽比结构下的填充与缺陷控制工艺窗口，同时有望减少阻隔层使用，带动沉积设备及配套工艺升级；　　输送：Mo前驱体通常采用低挥发性固态源，与传统WF气态前驱体体系差异较大，需要新增气化装置、温控管路及精密供气系统，以保障前驱体稳定输送；　　CMP：Mo材料的氧化及表面化学特性不同于传统金属体系，需重新开发CMP研磨液和研磨垫，以满足平坦化、去除速率及缺陷控制要求；　　清洗：Mo导入后残留物及氧化物体系发生变化，高深宽比结构下金属残留和污染控制难度提升，有望推动相关湿法清洗设备及配套化学品验证导入；　　刻蚀环节则需重新建立适配钼材料的工艺窗口，且3DNAND层数持续提升下，刻蚀选择性、侧壁形貌控制及层间均匀性要求进一步提高，有望带动相关刻蚀设备升级需求；　　量检测：Mo量产还需新增膜厚均匀性、填充缺陷、金属残留及电学可靠性等监控项目，有望带动薄膜量测、缺陷检测及电性测试等设备需求增长。